床單位臭氧消毒器主要由不鏽鋼搪瓷臭氧管、模塊高壓電源、解析裝置、氣泵、氣管及接頭、消毒床罩及消毒袋、大屏幕中文觸摸屏操作運行監控係統、機殼組成。該機先通過氣泵將床單位(床單位密閉於消毒床罩或消毒袋中)中空氣抽出，形成近似真空(以到達臭氧與床單位的充分接觸)；然後不鏽鋼搪瓷臭氧管產生臭氧氣體，通過氣泵將臭氧氣體充入床單位進行消毒，消毒完後，再通過氣泵將床單位中剩餘的臭氧氣體抽出，通過臭氧解析裝置解析還原氧氣。